伺服行星减速机容易受到温度的影响，当伺服减速机温度超过最高工作温度，或温升超过规定，或温升虽然未超过规定但在低负荷时温升突然增大时，说明伺服减速机有故障。
1、绝缘材料的极限工作温度，是指伺服减速机在设计预期寿命内，运行时绕组绝缘中最热点的温度。如果运行温度长期超过材料的极限工作温度，则绝缘的老化加剧，寿命大大缩短。所以伺服形象减速机在运行中，温度是寿命的主要因素之一。
2、温升是伺服行星减速机与环境的温度差，是由伺服减速机发热引起的。温升是伺服行星减速机设计及运行中的一项重要指标，标志着减速机的发热程度，减速机在运行中，如温升突然增大，说明星减速机有故障，或风道阻塞或负荷太重。
3、运行中的伺服行星减速机铁芯处在交变磁场中会产生铁损，绕组通电后会产生铜损，还有其它杂散损耗等。这些都会使伺服减速机温度升高。另一方面伺服行星减速机也会散热，当发热与散热相等时即达到平衡状态，温度不再上升而稳定在一个水平上。当发热增加或散热减少时就会破坏平衡，使温度继续上升，扩大温差，则增加散热，在另一个较高的温度下达到新的平衡。
